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酸气SDG吸附剂的特点分析

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酸气SDG吸附剂的特点分析

发布日期:2019-07-01 作者: 点击:

半导体制造或许排放的特别毒性气体品种很多,如所排放的AsH3、PH3、SiH4、B2H6、SiH2Cl2,CL2,HF,PH3,NH3,HBr,F2,HCL,COS等等,都是含有特别毒性的风险气体。针对此类的废气处理需掌握各单元所排放的废气特性,串联多种不同型式的废气处理设备和吸附剂。现在常使用于处理半导体制程中特别毒性气体处理的处理技術,一般能够分為四种,干式吸收或吸附法、湿式洗滌法等。其间各种贵州吸附剂的合作使用为现在半导体职业的干流处理技能。


 SDG酸气吸附剂是北京工业大学佘名汉教授掌管研发的一种新式酸性废气吸附资料, 共分为SDG-1型和SDG-2型,别离针对处理不同含酸气体。该SDG吸附剂两次被原国家环保总局评为有用推行技能。

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  SDG-2型吸附剂外观为灰白色,柱状,是一种多种成分复合的化学吸附剂。首要用于处理 盐酸、硫酸、氢氟酸、磷酸等强酸蒸发的废气,详细参数能够查询文字说明下面的表格。


SDG吸附剂净化酸气机理 

 SDG吸附剂是一种比外表积较大的固体颗粒状无机物,当被净化气体中的酸气分散运动抵达SDG吸附剂外表吸附力场时,便被固定在其外表上,然后与其间活性成分发作化学反响,生成一种新的中性盐物质而存储于SDG吸附剂结构中。SDG吸附剂对酸气的净化是一个多功能的归纳效果,除了一般的物理吸附外,还有化学吸附,粒子吸附,催化效果,化学反响等。



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